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乙硼烷
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乙硼烷(B2H6)是最簡單的硼烷。常溫下是無色液體。
產品特性
乙硼烷化學性質相當活潑,可自燃,且燃燒熱很高。與水反應生成硼酸和氫氣。與堿金屬氫化物可形成越來越復雜的硼氫酸鹽。
應用說明
乙硼烷常用于半導體集成電路生產的摻雜、離子注入等工藝中。
應用領域
能源和化學品
電子電器
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