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三氟化硼
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三氟化硼(CF3)是一種有窒息性,在空氣中易遇濕水解的無色氣體。
產品特性
三氟化硼氣體刺激性強,加熱或與濕空氣接觸會分解形成有毒和腐蝕性的氟化氫氣體,腐蝕眼睛、呼吸道和皮膚。
應用說明
三氟化硼常用于半導體集成電路生產的摻雜、離子注入等工藝中。
應用領域
能源和化學品
電子電器
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